Большой англо-русский и русско-английский словарь
evaporation plant, sputtering plant, evaporation [evaporator] unit
Англо-русский словарь технических терминов
evaporation [evaporator\] unit электрон., evaporation plant, sputtering plant
Русско-английский политехнический словарь
evaporation [evaporator] unit электрон., evaporation plant, sputtering plant