Большой англо-русский и русско-английский словарь
фотохимическое осаждение из паровой (газовой) фазы
Англо-русский словарь технических терминов
фотохимическое осаждение из паровой (газовой) фазы
«photochemical vapor deposition»
photochemical vapor deposition в энциклопедиях