Большой англо-русский и русско-английский словарь
установка совмещения (и экспонирования) с (микро) зазором
Англо-русский словарь технических терминов
установка совмещения (и экспонирования) с (микро)зазором
English-Russian big polytechnic dictionary
1. установка фотолитографии с зазором
automask aligner — автоматизированная установка
contact aligner — установка контактной фотолитографии
projection aligner — установка проекционной фотолитографии
2. установка контактной фотолитографии с зазором