Большой англо-русский и русско-английский словарь
эпитаксия из твердой фазы, твердофазная эпитаксия
Англо-русский словарь технических терминов
эпитаксия из твёрдой фазы, твёрдофазная эпитаксия
«solid-phase epitaxy»
solid-phase epitaxy в энциклопедиях