Большой англо-русский и русско-английский словарь
испарение в вакууме
Англо-русский словарь технических терминов
1)вакуумное испарение, испарение под вакуумом
2)напыление, термовакуумное испарение
3)пищ. выпаривание под вакуумом
«vacuum evaporation»
vacuum evaporation в энциклопедиях