Большой англо-русский и русско-английский словарь
микротехнология;
микрообработка (напр. микролитография) E-beam lelectron-beami microrfabrication ion beam microrfabrication ultraviolet microrfabrication X-ray microrfabrication
«microrfabrication»
microrfabrication в энциклопедиях