Большой англо-русский и русско-английский словарь
резист для (получения) тонких пленок, резист для тонкопленочной технологии
Англо-русский словарь технических терминов
резист для (получения) тонких плёнок, резист для тонкоплёночной технологии
«thin-film resist»
thin-film resist в энциклопедиях