Большой англо-русский и русско-английский словарь
1. технология (изготовления) ИС с уменьшенными размерами элементов
2. субмикронная технология, технология (изготовления) ИС с субмикронными размерами элементов
Англо-русский словарь технических терминов
1)технология (изготовления) ИС с уменьшенными размерами элементов
2)субмикронная технология, технология (изготовления) ИС с субмикронными размерами элементов