Большой англо-русский и русско-английский словарь
пластина с эпитаксиальным слоем
Англо-русский словарь технических терминов
1)(полупроводниковая пластина) с эпитаксиальным слоем
2)подложка с эпитаксиальным слоем
«epitaxial wafer»
epitaxial wafer в энциклопедиях