Большой англо-русский и русско-английский словарь
sputtcr(ing) deposition
Англо-русский словарь технических терминов
sputter(ing) deposition
Русско-английский политехнический словарь
sputter(ing) deposition
«осаждение методом распыления»
осаждение методом распыления в энциклопедиях