Большой англо-русский и русско-английский словарь
1. предварительный обжиг;
термообработка (в фотолитографии)
2. предварительное задубливание (фоторезиста)
Англо-русский словарь технических терминов
1)предварительный обжиг; термообработка (в фотолитографии)
2)предварительное задубливание(фоторезиста)