Большой англо-русский и русско-английский словарь
обеспечивать плоскостность, выравнивать, сглаживать (поверхность)
Англо-русский словарь технических терминов
обеспечивать плоскостность, выравнивать, сглаживать(поверхность)
«planarize»
planarize в энциклопедиях