Большой англо-русский и русско-английский словарь
1. тонкая пленка
2. тонко-пленочная гибридная ИС
(электроника) тонкопленочный
Новый большой англо-русский словарь
[͵θınʹfılm] элк.
тонкоплёночный
Англо-русский словарь технических терминов
1)тонкая плёнка
2)тонко-плёночная гибридная ИС