Большой англо-русский и русско-английский словарь
однородность (профиля) легирования
Англо-русский словарь технических терминов
однородность (профиля) легирования
English-Russian big polytechnic dictionary
равномерность распределение легирующей примеси
lack of uniformity — неравномерность
uniformity of illumination — равномерность освещения