Большой англо-русский и русско-английский словарь
optical lithography
Англо-русский словарь технических терминов
optical lithography
Энциклопедический словарь нанотехнологий
Статьи
- лаборатория на чипе
- литография
- микроморфология
- фоторезист
Русско-английский политехнический словарь
optical lithography