Большой англо-русский и русско-английский словарь
триодное (ионное) распыление, (ионное) распыление в трехэлектродной установке
Англо-русский словарь технических терминов
триодное (ионное) распыление, (ионное) распыление в трёхэлектродной установке
«triode sputtering»
triode sputtering в энциклопедиях