Большой англо-русский и русско-английский словарь
элн напылительная камера
Англо-русский словарь технических терминов
электрон. напылительная камера
English-Russian big polytechnic dictionary
камера для напыления тонких пленок
oven chamber — камера печи
lock chamber — камера шлюза
gas chamber — газовая камера
mill chamber — камера помола
mine chamber — минная камера