Большой англо-русский и русско-английский словарь
fine-line photolithography
Англо-русский словарь технических терминов
fine-line photolithography
Русско-английский политехнический словарь
fine-line photolithography
«прецизионная фотолитография»
прецизионная фотолитография в энциклопедиях