Большой англо-русский и русско-английский словарь
загрузчик (полупроводниковых) пластин, устройство подачи пластин
Англо-русский словарь технических терминов
загрузчик (полупроводниковых) пластин, устройство подачи пластин
«wafer loader»
wafer loader в энциклопедиях