Большой англо-русский и русско-английский словарь
сокр. [metal-organic chemical vapor deposition] химическое осаждение из паровой [газовой] фазы металлоорганических соединений
Англо-русский словарь технических терминов
сокр. отmetal-organic chemical vapor deposition
химическое осаждение из паровой [газовой\] фазы металлоорганических соединений