Большой англо-русский и русско-английский словарь
контактная установка-совмещения (и экспонирования);
установка контактной литографии
Англо-русский словарь технических терминов
контактная установка совмещения (и экспонирования); установка контактной литографии
English-Russian big polytechnic dictionary
установка контактной фотолитографии
automask aligner — автоматизированная установка
projection aligner — установка проекционной фотолитографии