Большой англо-русский и русско-английский словарь
базовая пластина (с несоединенными активными и пассивными компонентами)
Англо-русский словарь технических терминов
1)базовая (полупроводниковая) пластина
2)базовый кристалл
English-Russian big polytechnic dictionary
стандартная пластина
silicon slice — кремниевая пластина
epitaxial slice — п/п пластина с эпитаксиальным слоем