Большой англо-русский и русско-английский словарь
зазор между полупроводниковой пластиной и фотошаблоном (при фотолитографии)
Англо-русский словарь технических терминов
зазор между полупроводниковой пластиной и фотошаблоном(при фотолитографии)
English-Russian big polytechnic dictionary
микрозазор