Большой англо-русский и русско-английский словарь
эпипланарная [планарно-эпитаксиальная] технология
Англо-русский словарь технических терминов
эпипланарная [планарно-эпитаксиальная\] технология
«epiplanar technology»
epiplanar technology в энциклопедиях