Большой англо-русский и русско-английский словарь
элн загонка примеси (первая стадия двухстадийном процесса диффузии)
Англо-русский словарь технических терминов
электрон. загонка примеси(первая стадия двухстадийном процесса диффузии)
«spin-on»
spin-on в энциклопедиях