«Планарный процесс»
Планарный процесс в словарях и энциклопедиях
Источники
- Источник: Большая советская энциклопедия. — М.: Советская энциклопедия. 1969—1978.
Большая Советская энциклопедия
совокупность технологических операций, более точно характеризуемая термином Планарная технология.