«Ионно-сорбционный насос»

Вакуумный насос, в котором химически активные газы удаляются за счёт сорбции их геттерами (См. Геттеры), а инертные газы — в результате интенсивной ионизации в виде ионов под действием электрического поля. С помощью И.-с. н. достигают разрежения 10^-7 н/м² (10^-9 мм рт. ст.).

getter ion pump